为先进半导体制程电子化学品输送而生的超纯泵:
风囊泵是通过2个折叠的风囊交替拉伸及压缩，将液体挤出或吸入泵头，该泵所有接触液体部分全部采用高纯度PTFE/PFA 材料制造，无离子析出，特殊的整体无金属设计，即便风囊破损，也不会有金属离子污染化学品. 精密加工的风囊循环寿命高达一亿次，可以连续24小时免维护工作。RCA系列风囊泵可承受高达 100°C 的流体温度和 最高7 bar 的供气压力，用于化学供液； RSK系列风囊泵可承受高达 100°C 的流体温度和 4 bar 的供气压力，用于湿法清洗循环。
产品性能特点：
• 全机无金属、无油、无橡胶密封圈设计
• 接液部全部为高纯PTFE、PFA制成，拥有极强的耐温、耐化学品特性，洁净无污染
• 可分离式无油换向气阀，便于更换清洁，适用于洁净的压缩空气或氮气
• 特殊的换向机构及风囊的延展拉伸结构，将流体脉动降到最低
• 没有驱动电机，不会对输送的液体持续加温
• 洁净厂房生产、检测、包装
• 可输送温度超过100℃的高温化学液
• 两年保修期内无预防性维护